（1）靜電引力小

　　電容傳感器兩極板間存在著靜電場，因此極板上作用著靜電引力或靜電力矩。靜電引力的大小與極板間的工作電壓、介電常數、極間距離有關。一般說來，這種靜電引力是很小的，因此只有對推動力很小的彈性敏感元件，才須考慮因靜電引力造成的測量誤差。

　　（2）結構簡單，適應性強

　　電容式傳感器結構簡單，易于制造。能在高低溫、強輻射及強磁場等各種惡劣的環境條件下工作，適應能力強，尤其可以承受很大的溫度變化，在高壓力、高沖擊、過載等情況下都能正常工作，能測超高壓和低壓差，也能對帶磁工件進行測量。此外傳感器可以做得體積很小，以便實現某些特殊要求的測量。

　　（3）溫度穩定性好

　　傳感器的電容值一般與電極材料無關，僅取決于電極的幾何尺寸，且空氣等介質損耗很小，因此只要從強度、溫度系數等機械特性考慮，合理選擇材料和幾何尺寸即可，其他因素（因本身發熱極小）影響甚微。而電阻式傳感器有電阻，供電后產生熱量；電感式傳感器存在銅損、渦流損耗等，引起本身發熱產生零漂。

　　（4）動態響應好

　　電容式傳感器由于極板間的靜電引力很小，（約幾個10-5N），需要的作用能量極小，又由于它的可動部分可以做得很小很薄，即質量很輕，因此其固有頻率很高，動態響應時間短，能在幾MHz的頻率下工作，特別適合動態測量。又由于其介質損耗小可以用較高頻率供電，因此系統工作頻率高。它可用于測量高速變化的參數，如測量振動、瞬時壓力等。

　　（5）可以實現非接觸測量、具有平均效應

　　當被測件不能允許采用接觸測量的情況下，電容傳感器可以完成測量任務。當采用非接觸測量時，電容式傳感器具有平均效應，可以減小工件表面粗糙度等對測量的影響。

　　電容式傳感器除上述優點之外，還因帶電極板間的靜電引力極小，因此所需輸入能量極小，所以特別適宜低能量輸入的測量，例如測量極低的壓力、力和很小的加速度、位移等，可以做得很靈敏，分辨力非常高，能感受0.001µm甚至更小的位移。