傳感器的分類有很多,同樣傳感器可以通過不同方式進行分類。有一類是從測量目的進行區分傳感器。這樣傳感器可分為物理型傳感器,化學型傳感器等。下面就物理型傳感器做一個簡單的分析介紹,物理型傳感器又可以分為結構型傳感器和物性型傳感器。
結構型傳感器是以結構(如形狀、尺寸等)為基礎,利用某些物理規律來感受(敏感)被測量,井將其轉換為電信號實現測量的。例如電容式壓力傳感器,必須有按規定參數設計制成的電容式敏感元件,當被測壓力作用在電容式敏感元件的動極板上時,引起電容間隙的變化導致電容值的變化,從而實現對壓力的測量。又比如諧振式壓力傳感器,必須設計制作一個合適的感受被測壓力的諧振敏感元件,當被測壓力變化時,改變諧振敏感結構的等效剛度,導致諧振敏感元件的固有頻率發生變化,從而實現對壓力的測量。
物性型傳感器就是利用某些功能材料本身所具有的內在特性及效應感受(敏感)被測量,并轉換成可用電信號的傳感器。例如利用具有壓電特性的石英晶體材料制成的壓電式傳感器,就是利用石英晶體材料本身具有的正壓電效應而實現對壓力測量的;利用半導體材料在被測壓力作用下引起其內部應力變化導致其電阻值變化制成的壓阻式傳感器,就是利用半導體材料的壓阻效應而實現對壓力測量的。
一般而言,物理型傳感器對物理效應和敏感結構都有一定要求,但側重點不同。結構型傳感器強調要依靠精密設計制作的結構才能保證其正常工作;而物性型傳感器則主要依據材料本身的物理特性、物理效應來實現對被測量的感應。近年來,由于材料科學技術的飛速發展與進步,物理型傳感器應用越來越廣泛。這與該類傳感器便于批量生產、成本較低及易于小型化等持點密切相關。