電容式傳感器具有結(jié)構(gòu)簡單、耐高溫、耐輻射、分辨率高、動態(tài)響應特性好等優(yōu)點,廣泛用于壓力、位移、
加速度、厚度、振動、液位等測量中。但在使用中要注意以下幾個方面對測量結(jié)果的影響:①減小環(huán)境溫度、
濕度變化(可能引起某些介質(zhì)的介電常數(shù)或極板的幾何尺寸、相對位置發(fā)生變化);②減小邊緣效應;③減少
寄生電容;④使用屏蔽電極并接地(對敏感電極的電場起保護作用,與外電場隔離);⑤注意漏電阻、激勵頻
率和極板支架材料的絕緣性。
?。?)克服寄生電容的影響
電容式傳感器由于受結(jié)構(gòu)與尺寸的限制,其電容量都很?。╬F到幾十pF),屬于小功率、高阻抗器件,因
此極易外界干擾,尤其是受大于它幾倍、幾十倍的、且具有隨機性的電纜寄生電容的干擾,它與傳感器電容相
并聯(lián),嚴重影響感器的輸出特性,甚至會淹沒有用信號而不能使用。消滅寄生電容影響,是電容式傳感器實用
的關(guān)鍵。
?。?)克服邊緣效應的影響
實際上當極板厚度h與極距δ之比相對較大時,邊緣效
應的影響就不能忽略;邊緣效應不僅使電容傳感器的靈敏度降低,而且產(chǎn)生非線性。
?。?)克服靜電引力的影響
電容式傳感器兩極板間因存在靜電場,而作用有靜電引力或力矩。靜電引力的大小與極板間的工作電壓、
介電常數(shù)、極間距離有關(guān)。通常這種靜電引力很小,但在采用推動力很小的彈性敏感元件情況下,須考慮因靜
電引力造成的測量誤差。
(4)溫度影響
環(huán)境溫度的變化將改變電容傳感器的輸出相對被測輸入量的單值函數(shù)關(guān)系,從而引入溫度干擾誤差。溫度
影響主要包括溫度對結(jié)構(gòu)尺寸和對介質(zhì)的影響兩方面。