據(jù)環(huán)球網(wǎng)5月27日報道，韓國法院于5月25日宣布，三星電子旗下子公司SEMES前員工A某等7人，涉嫌將半導(dǎo)體洗凈裝備技術(shù)泄露給中企，被檢方移交法院。

據(jù)韓國《世界日報》5月26日的報道，韓國水原地方法院軍工產(chǎn)業(yè)、產(chǎn)業(yè)技術(shù)犯罪刑事法庭于25日宣布，以涉嫌違反《防止不正當(dāng)競爭法》《商業(yè)機(jī)密保護(hù)法》《產(chǎn)業(yè)技術(shù)保護(hù)法》等法律，將三星電子子公司SEMES前員工A某等7人提起拘留起訴。

據(jù)悉，A某以研究員身份在SEMES公司任職超10年，其從SEMES公司辭職時，未按照要求交還相關(guān)信息，從合作客戶代表處盜取設(shè)計(jì)圖紙、零件清單、藥業(yè)管道信息、操作標(biāo)準(zhǔn)、軟件等幾乎全部技術(shù)。A某團(tuán)伙盜取的半導(dǎo)體清洗設(shè)備是SEMES專利技術(shù)制成的主力產(chǎn)品，在芯片制程最初階段用于清除污物。

                                                                 SEMES半導(dǎo)體清洗設(shè)備

                                                                  來源：韓國亞洲經(jīng)濟(jì)

該設(shè)備可用來清洗包括硫酸在內(nèi)的高溫液體，并將傳送機(jī)器人的手臂從2只增至4只，大大提高了清洗速度，該設(shè)備也被認(rèn)為是三星尖端半導(dǎo)體芯片技術(shù)的關(guān)鍵。2018年3月起至去年12月，他盜取SEMES公司技術(shù)后，制成14臺相同配置的半導(dǎo)體清洗設(shè)備，與相關(guān)技術(shù)一同出售于中國企業(yè)及研究機(jī)構(gòu)，并從中獲取710億韓元（約合人民幣3.7億元）的報酬。

據(jù)韓國亞洲經(jīng)濟(jì)報道，SEMES公司為研究開發(fā)這一技術(shù)投資2188億韓元，技術(shù)泄露或?qū)?dǎo)致該公司每年遭受400億韓元以上的經(jīng)濟(jì)損失。

資料顯示，SEMES是三星電子旗下的一家半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商，同時也是韓國最大的半導(dǎo)體設(shè)備制造商，三星擁有其超90%的股份。目前，其產(chǎn)品主要包括半導(dǎo)體前道工序領(lǐng)域的清洗、Phototrack、蝕刻設(shè)備，還有后道工序的Bonder、Probe等設(shè)備。

另據(jù)韓國KBS電視臺報道，從A某等人處獲取半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)的就包括中國“國營半導(dǎo)體研究機(jī)構(gòu)”ICRD，即上海集成電路研發(fā)中心有限公司。資料顯示，該公司成立于2002年12月16日，為國有控股企業(yè)。

清洗是貫穿半導(dǎo)體制造的重要工藝，是提高芯片良率、產(chǎn)品性能的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。根據(jù)清洗介質(zhì)的不同，目前半導(dǎo)體清洗技術(shù)主要分為濕法清洗和干法清洗兩種。晶圓制造產(chǎn)線上通常以濕法清洗為主，占芯片制造清洗步驟數(shù)量的90%以上。

根據(jù)Gartner 2021年數(shù)據(jù)，2020年全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備市場規(guī)模約為33.41億美元，預(yù)計(jì)2022年將達(dá)43.24億美元。

目前全球清洗設(shè)備市場集中度較高，日本在其中占據(jù)主要地位。據(jù)華經(jīng)情報網(wǎng)數(shù)據(jù)顯示，2020年迪恩士DNS在半導(dǎo)體單片清洗設(shè)備市場占46%的市場份額，東京電子TEL、SEMES和泛林半導(dǎo)體Lam Research分別占據(jù)20%、14%和13%的市場份額。目前，國產(chǎn)清洗設(shè)備領(lǐng)域主要包括盛美上海、北方華創(chuàng)、芯源微、至純科技四家主要廠商，但專注領(lǐng)域各有不同。

據(jù)《環(huán)球時報》報道，對于此次事件，上海對外經(jīng)貿(mào)大學(xué)朝鮮半島研究中心主任詹德斌表示，這首先是韓國國內(nèi)的一起法律案件，但時機(jī)是發(fā)生在拜登訪問韓國之后，且韓美聯(lián)合聲明中明確提及“為防止先進(jìn)技術(shù)被用于侵犯國家安全及經(jīng)濟(jì)安全，決定在涉及敏感技術(shù)的投資審批及出口管制方面加強(qiáng)官方合作”。

在這個節(jié)骨眼上，因?yàn)樵摪讣陌l(fā)生，韓國輿論中確實(shí)容易形成對半導(dǎo)體等核心技術(shù)外流中國的警惕。詹德斌認(rèn)為，無論此案件主客觀上是否有針對中方的意圖，未來韓國會越來越強(qiáng)化對其技術(shù)向海外轉(zhuǎn)移的監(jiān)管。而美國總統(tǒng)拜登對韓國的訪問，并將第一站放在韓國三星，拉攏韓國在半導(dǎo)體上合作，也會對韓國形成防備中國的一種心理暗示。