7月23日,日本政府正式對先進半導體制造所需的23個品類的半導體設備追加出口管制。這等于在事實上與2022年10月加強對中國出口管制的美國統一了步調,中國將很難進口尖端半導體制造所需要的清洗、曝光、檢測裝置等。
從日本出口管制對象產品時,除了友邦美國及臺灣等42個國家和地區以外,其他國家均需要單獨獲得日本經濟產業相的許可。
3個品類包括極紫外(EUV)相關產品的制造設備,及可立體堆疊存儲元件的蝕刻設備等。管控對象包括:清洗設備:半導體前段工藝除去表面異物的清洗設備;成膜設備:利用等離子旋轉晶圓,形成原子級別膜的設備,利用EUV光掩膜的成膜設備,準確形成硅膜、硅化合物膜的設備;熱處理:通過熱處理,除去薄膜內空隙的設備;曝光:EUV涂覆、顯影設備,防護板(EUV光掩膜方向)生產設備,ArF液浸式曝光設備;蝕刻:具有立體結構的最尖端的蝕刻設備;檢查:EUV光掩膜檢測設備。
2022年10月,美國出于對轉用于軍事用途的擔憂,針對超級計算機和人工智能(AI)使用的尖端半導體以及特定制造裝置等加強了對華出口管制。
美國認為僅靠自己進行管制還不夠,要求日本和荷蘭也采取同樣的措施。荷蘭將于9月加強管制。荷蘭大型半導體制造裝置企業ASML在EUV曝光裝置方面處于壟斷地位,日本也在Tokyo Electron及SCREEN控股等擁有的技術上占有優勢。
對此,外交部發言人毛寧表示日方不顧中方的嚴重關切,執意出臺和實施對華指向性明顯的出口管制措施,中方深感遺憾和不滿,已經在不同層級向日方提出了嚴正交涉。